星空体育官网app下载金融界2024年11月28日消息，国家知识产权局信息显示，江苏凯威特斯半导体科技有限公司申请一项名为“一种上电极的清洗方法”的专利，公开号 CN 119028795 A，申请日期为2024年9月。
专利摘要显示，本发明公开了一种上电极的清洗方法，属于半导体制造技术领域，包括上电极激光清洗步骤：在第一功率下，利用激光束对上电极表面进行激光清洗；氧气等离子清洗：在第二功率下，通入含有氧气的第一混合气体，对表面残留污染物进行氧化生成无害气体；氮气等离子清洗步骤：在第三功率下，通入含有氮气的第二混合气体，去除部件表面残留惰性污染物；二氧化碳干冰工艺清洗步骤；纯水超声步骤，然后吹干；烘干冷却步骤：纯水超声步骤处理后进行烘干、冷却，得清洗后的上电极。本发明刻蚀腔上电极的非接触式清洗方法，通过非接触式清洗步骤和降低环境造成污染，同时降低对母材和环境和人体的潜在危害。
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